抄録
A 128Mbit FBRAM using the floating body cell(FBC) the size of 0.17μm2(6.24F2 with F-0.165μm) was successfully fabricated and a high bit yield(∼99.999%) was obtained.
本文言語 | English |
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ホスト出版物のタイトル | 2006 Symposium on VLSI Circuits, VLSIC - Digest of Technical Papers |
ページ | 180-181 |
ページ数 | 2 |
出版ステータス | Published - 2006 12月 1 |
外部発表 | はい |
イベント | 2006 Symposium on VLSI Circuits, VLSIC - Honolulu, HI, United States 継続期間: 2006 6月 15 → 2006 6月 17 |
出版物シリーズ
名前 | IEEE Symposium on VLSI Circuits, Digest of Technical Papers |
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Other
Other | 2006 Symposium on VLSI Circuits, VLSIC |
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国/地域 | United States |
City | Honolulu, HI |
Period | 06/6/15 → 06/6/17 |
ASJC Scopus subject areas
- 電子材料、光学材料、および磁性材料
- 電子工学および電気工学