An Optically Delineated 4.2-µm2Self-Aligned Isolated-Plate Stacked-Capacitor DRAM Cell

Shin Ichiro Kimura, Yoshifumi Kawamoto, Norio Hasegawa, Atsushi Hiraiwa, Yoshinobu Nakagome, Masakazu Aoki, Hideo Sunami, Kiyoo Itoh, Teruaki Kisu

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「An Optically Delineated 4.2-µm2Self-Aligned Isolated-Plate Stacked-Capacitor DRAM Cell」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds