抄録
How the a-IGZO films crystallize and how the crystallinity affects the electrical properties, hence the TFT performances, have been investigated in detail. a-IGZO thin films were post-annealed in air at 300-1000 °C for 1h. HREM analyses revealed the crystallization behavior in detail. For the comparative purpose the crystallization behaviors of a-IGO and a-IZO films are also investigated.
| 本文言語 | English |
|---|---|
| ホスト出版物のタイトル | 22nd International Display Workshops, IDW 2015 |
| 出版社 | International Display Workshops |
| ページ | 12-13 |
| ページ数 | 2 |
| ISBN（電子版） | 9781510845503 |
| 出版ステータス | Published - 2015 1月 1 |
| 外部発表 | はい |
| イベント | 22nd International Display Workshops, IDW 2015 - Otsu, Japan 継続期間: 2015 12月 9 → 2015 12月 11 |
出版物シリーズ
| 名前 | Proceedings of the International Display Workshops |
|---|---|
| 巻 | 1 |
| ISSN（印刷版） | 1883-2490 |
Conference
| Conference | 22nd International Display Workshops, IDW 2015 |
|---|---|
| 国/地域 | Japan |
| City | Otsu |
| Period | 15/12/9 → 15/12/11 |
ASJC Scopus subject areas
- コンピュータ ビジョンおよびパターン認識
- 人間とコンピュータの相互作用
- 電子工学および電気工学
- 電子材料、光学材料、および磁性材料
- 放射線学、核医学およびイメージング
UN SDG
この成果は、次の持続可能な開発目標に貢献しています
