Effects of crystalline polarity and temperature gradient on step bunching behavior of off-axis 4H-SiC solution growth

S. Endo*, K. Kamei, Y. Kishida, K. Moriguchi

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of crystalline polarity and temperature gradient on step bunching behavior of off-axis 4H-SiC solution growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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