Fabrication of silicon mold for thermal nanoimprint lithography

J. Matsui*, H. Takahashi, N. Xie, J. Mizuno, K. Utaka

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Fabrication of silicon mold for thermal nanoimprint lithography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science