In-channel 3-D micromesh structures using maskless multi-angle exposures and their microfilter application

Hironobu Sato*, Takayuki Kakinuma, Jeung Sang Go, Shuichi Shoji

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference article査読

59 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「In-channel 3-D micromesh structures using maskless multi-angle exposures and their microfilter application」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds