Initial growth stage of nanoscaled TiN films: Formation of continuous amorphous layers and thickness-dependent crystal nucleation

T. Q. Li*, S. Noda, H. Komiyama, T. Yamamoto, Y. Ikuhara

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フィンガープリント

「Initial growth stage of nanoscaled TiN films: Formation of continuous amorphous layers and thickness-dependent crystal nucleation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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