抄録
In order to fabricate circuit integrated microsensors, micro fabrication techniques based on LSI technologies, that micro-machining, play important roles. In this section useful micro-machining techniques for fabricating integrated sensors are described. The micropackaged structure for integrated sensors is also introduced.
| 本文言語 | English |
|---|---|
| ページ（範囲） | 47-57 |
| ページ数 | 11 |
| ジャーナル | Handbook of Sensors and Actuators |
| 巻 | 3 |
| DOI | |
| 出版ステータス | Published - 1996 12月 1 |
| 外部発表 | はい |
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