Normally close microvalve and micropump fabricated on a silicon wafer

Masayoshi Esashi, Shuichi Shoji, Akira Nakano

研究成果: Chapter

1 被引用数 (Scopus)

抄録

A normally close microvalve and micropump were fabricated on a silicon wafer by micromachinlng techniques. Normally close microvalve has a silicon diaphragm and a small piezoelectric actuator to drive It. The controllable gas flow rate is from 0.1 ml/min to 85 ml/min at gas pressure of 0.75 kgf/cm2. The micro pump is a diaphragm type pump which consists of two polysilicon oneway valves and a diaphragm driven by a small piezoelectric actuator. The maximum pumping flow rate and pressure are 20 ¼l/min and 780 mmH20/cm2 respectively.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルMicromechanics and MEMS
ホスト出版物のサブタイトルClassic and Seminal Papers to 1990
出版社Wiley-IEEE Press
ページ444-449
ページ数6
ISBN(電子版)9780470545263
ISBN(印刷版)0780310853, 9780780310858
DOI
出版ステータスPublished - 1997 1月 1
外部発表はい

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「Normally close microvalve and micropump fabricated on a silicon wafer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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