On-wafer-packaging of crystal quartz based devises using low-temperature anodic bonding

Y. Zimin, T. Ueda

    研究成果: Conference contribution

    フィンガープリント

    「On-wafer-packaging of crystal quartz based devises using low-temperature anodic bonding」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science