Reduced damage of electron cyclotron resonance etching by In doping into p-GaN

Toshiki Makimoto, Kazuhide Kumakura, Naoki Kobayashi

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Reduced damage of electron cyclotron resonance etching by In doping into p-GaN」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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