The level set method for etching and deposition

D. Adalsteinsson*, L. C. Evans, H. Ishii

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抄録

We provide a rigorous interpretation of the level set approach to certain nonlocal geometric motions modelling etching effects in manufacture. The shadowing of certain parts of a surface by other parts gives rise to a nonlocal Hamilton-Jacobi type PDE, with a multivalued Hamiltonian. We also show that deposition effects do not fall within the conventional level set framework, and accordingly must be reinterpreted for numerical implementation.

本文言語English
ページ(範囲)1153-1186
ページ数34
ジャーナルMathematical Models and Methods in Applied Sciences
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出版ステータスPublished - 1997 12月
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